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晶圆级磁场探针台

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【晶圆级】半自动磁场探针台 【1】半自动面内磁场探针台PS1DX-Auto8 三维效果图 项目详细参数磁场方向及最大磁场强度面内磁场;≥330 mT气隙是否可调否气隙尺寸12 寸晶圆(向下兼容碎片测试)探针类型及...

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产品详情

【晶圆级】半自动磁场探针台

【1】半自动面内磁场探针台PS1DX-Auto8

三维效果图
项目详细参数
磁场方向及最大磁场强度面内磁场;≥330 mT
气隙是否可调
气隙尺寸12 寸晶圆(向下兼容碎片测试)
探针类型及数量直流探针(4 组)或微波探针(4 组)
样品位移台参数XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’
显微镜类型单筒显微镜
产品简述●垂直或面内磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计;
●最大容纳 12 寸晶圆,且向下兼容 8 寸、6 寸、碎片;
●最大兼容 4 组探针(RF 或DC 测试);
●提供 Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。
设备可提供升级点●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。

【2】半自动垂直磁场探针台PS1DP-Auto8

三维效果图
项目详细参数
磁场方向及最大磁场强度垂直磁场;≥700 mT
气隙是否可调
气隙尺寸12 寸晶圆(向下兼容碎片测试)
探针类型及数量直流探针(4 组)或微波探针(4 组)
样品位移台参数XY 电控行程±150 mm,调节精度 2 μm;T 轴手动调节±5°,最小调节精度 5’
显微镜类型单筒显微镜
产品简述●垂直或面内磁场探针台,除磁铁外结构通用性设计;
●最大容纳 12 寸晶圆,且向下兼容 8 寸、6 寸、碎片;
●最大兼容 4 组探针(RF 或DC 测试);
●提供 Z 轴探针平台快速升降功能,实现高效测试。
设备可提供升级点●Z 轴探针平台手动升降功能可升级为电控。

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